Accent optical technologies
RPM2000
10년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > 발광분광기
2003-04-09
309,464,050원
기관의뢰
고정형
시간별
60,000원
- 발광 균일도 측정, 웨이퍼의 두께 균일도 측정 가능, VCSEL 및 DBR 맵핑 가능
- 2개 광원(325nm He-Cd laser, 532nm ND YAG laser)과 2개 검출기(CCD, InGaAs detector)
검출기 : 다중채널 CCD 검출기 : 340~1050nnm, 다중채널 InGaAs 검출기 : ~1700nm측정 기능 : 단일 및 다중 위치 발광 스펙트럼측정, wafer의 spectral mapping 측정, wafer의 두께 mapping측정