Inteleo
MTS03-TA-C1-M
10년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-03-28
128,873,900원
직접사용
고정형
시간별
53,697원
박막 두께 측정 장치로 웨이퍼 패턴의 폭을 측정하는 장비임, 현미경, 프로브스테이지, 워크테이브, PC로 구성되어있음수직 확대시 에러 범위 : ±3% 이하 수평 확대시 에러 범위 : ±3% 이하
장비개요X축 직선 정확도 : 0.1μm / 100mmY축 직선 정확도 : 5μm / 100mm수직 확대시 에러 범위 : ±3% 이하 수평 확대시 에러 범위 : ±3% 이하Measuring force : 0.5μN (0.05mgf)모니터링 : CCD 카메라스테이지 직경 : 200mm X-Y 샘플 위치선정 방법 : Programmable (±2㎛ repeatability) 최대 스캔 범위 : 210mm 탐침에 대한 최소 힘 : 0.05㎎ Step Height repeatability : 5Å 3-d rendering Baseline 안정성 : ≤1000Å over 100mm