Carl Zeiss[LEO]
FESEM
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-05-20
499,194,000원
고정형
원
○ 2011~2012년 수리 및 Stage 변경 따른 자산번호와 금액 발생 1. 자산번호: 14012800, 금액 : 65,483,287 원 2. 자산번호: 14014945, 금액 : 62,700,000 원 ○ 설명 : Scanning Electron Microscope 은 수십나노미터 크기의 미세한 구조를 관찰하는데 사용되는 장비이다. ○ 특징 - Electron Gun : W Hairpin filament - Accelerating Voltage :0.3 to 30 KV - Resolution : 100 nm - Work Field :400 ㎛ 400 ㎛ - Specimen Stage : Type : Fully Eucantric gionimeter Specimen movement - X : 125 mm - Y : 100 mm - Pattern Generator : 2.6MHz ○ 활용분야 : Nano Size 측정 ○ 활동분야 및 용도 : 소자 제작 확인 ○ 작동 시 유의사항 : 진동 방지를 위한 제진대 사용 ○ 테크니션 숙련도 : 상 ○ 유지보수 : 주기적 전자빔 장치 교체 ○ 정상작동여부 : 이상 무 ○ 수리기관: Karl Zeiss
나노재료의 CD 및 형태관찰