Veeco(Digital Instruments)
NSIIIA
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-04-23
189,796,000원
고정형
원
SPM(Scanning Probe Microscope) SPM (Scanning Probe Microscope)은 물질의 표면특성을 원자단위까지 측정할 수 있는 새로운 개념의 현미경이다. 원자는 너무 작아서(0.1-0.5nm) 아무리 좋은 현미경로도 볼 수 없다는 기존의 통념을 깨뜨린 원자현미경은 제1세대인 광학현미경과 제2세대인 전자현미경 다음의 제3세대 현미경으로 자리 잡아가고 있다. 특징 - 3-D영상 구축 및25-10,000,000배의 확대로 인한 nano scale resolution - 시료 전처리 과정이 거의 불필요하며 공기중 및 액중에서 in situ 영상화 - Noise Level : < 1Å RMS in vertical (Z), < 2Å RMS in petri dish or fluid with vibration Pad - 화상 획 활용분야 분석
원자탐침현미경