Comtecs
CS-IV-000
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-03-28
78,125,000원
고정형
원
최근 주목받고 있는 field emission (FE) 특성을 측정하는 장치로 field emission display를 비롯한 진공 나노 소자 연구에 반드시 필요한 장비이며, 실리콘을 기반으로 한 기술에 대응할 기술로 최근 연구되고 있는 진공 나노 소자 연구에 있어서 이 FE 측정 장치가 연구에 가장 필수적인 기기이다. 본 기기는 이러한 FE를 손쉽게 측정할 수 있는 장치로 미세 전류도 인지할 수 있는 ampere meter와 컴퓨터 software와의 interface까지 갖추고 있어 측정 데이터의 분석이 용이하게 제작될 예정이다. 이러한 FE 측정 장치를 사용한다면 진공 나노 소자 연구에 급진적인 발전이 있을 것으로 전망된다. 특징 전계방출소자의 전기적특성 분석(전압, 전류) - CCD camera : Samsung, SCC-421 - PSU : APC, Smart-UPS 1000 - Ultra high resistance meter : Advantest, R8340A - DC high voltage supply : FUG, HCL140-3500, 0-3kV, 0-40mA - Picoammeter : Keithley, 6485 - Vacuum gaug 활용분야 측정
FE측정