컴텍스
CS-IV-000
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-03-28
46,875,000원
고정형
원
최근 주목받고 있는 field emission (FE) 특성을 측정하는 장치로 field emission display를 비롯한 진공 나노 소자 연구에 반드시 필요한 장비이며, 실리콘을 기반으로 한 기술에 대응할 기술로 최근 연구되고 있는 진공 나노 소자 연구에 있어서 이 FE 측정 장치가 연구에 가장 필수적인 기기이다. 본 기기는 이러한 FE를 손쉽게 측정할 수 있는 장치로 미세 전류도 인지할 수 있는 ampere meter와 컴퓨터 software와의 interface까지 갖추고 있어 측정 데이터의 분석이 용이하게 제작될 예정이다. 이러한 FE 측정 장치를 사용한다면 진공 나노 소자 연구에 급진적인 발전이 있을 것으로 전망된다. 특징 - CCD camera : Samsung, SCC-421 - PSU : APC, Smart-UPS 1000 - Ultra high resistance meter : Advantest, R8340A - DC high voltage supply : FUG, HCL140-3500, 0-3kV, 0-40mA - Picoammeter : Keithley, 6485 - Vacuum gauge controller : Granville-Phillips(GP) 307 활용분야 측정
FE측정