㈜울텍
SPS-4100
10년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2004-04-23
228,000,000원
고정형
기타
1,475,000원
공정명
유기화합물 증착
공통사항
Target : TiO2, Ge oxide,Ta2O5(6”),RuO2(4”), Ni(4”, 6”), ZnO(6”)
Cathode : R.F magnetron
Sputter gun size : 4”(1ea)+6”(3ea)
Substrate temperature : 400℃
Substrate rotation & up/down
Product capacity : Single wafer process
Loader lock chamber 사용