NORAN
ThermoNORAN Vantage ESI
5년
주장비
분석
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2002-04-12
55,900,000원
고정형
건별
원
특징 측정가능 원소 범위 : Be~U 측정해상도 : 129eV for Mn 활용분야 원소분석 재료의 표면에 전자현미경의 target에서 발생된 전자(incident beam)가 충돌하게 되면 재료는 내부 전자가 입사전자에 의해 외부로 튀어 나가게 되고(이를 이차전자,Secondary electron(SE)이라고 합니다. 이 SE를 이용하여 시료의 고배율 이미지 관찰이가능합니다.) 빈 자리가 생성됩니다. 이 때 원자는 열역학적으로 에너지를 낮추기 위해 상위 궤도에 있는 전자가 빈 자리로 천이되어 원자를 안정화 시킵니다. 또한 시료 표면에서 그 재료의 특성을 갖는 여러 종류의 전자, 이온 및 특성X선 등이 방출된다. 이때 이 중에서 EDS 장치는 방출된 특성 X-선만을 따로 detecting하여 빔의 에너지대별로 화면에 표시하게 된다. 이 특성 X-선의 에너지의 세기는 물질이 갖는 고유한 값이며, 이 에너지 값은 사전에 입력되어진 물질마다 특정 값과 대조하여 컴퓨터가 스스로 최적으로 일치하는 물질을 유추해 내는데 이것이 EDS의 원리이다. EDS는 분석 시간이 빠르며 점분석, 선분석, 면분석이 가능한 것이 가장 큰 장점이다.
1. detector: Si(Li)계 초박막 사용 2. 측정가능 원소 범위 : Be~U 3. 측정해상도 : 129eV for Mn