울텍
Rapid annealing thermal system
4년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2002-01-30
30,000,000원
고정형
원
스핀 코팅이나 스크린 프린트 등 여러 가지 박막 공정으로 만들어진 전구체 박막의 소성 혹은 결정화를 위하여 사용하는 박막 열처리 장비임. 특히 급속 열처리가 가능하여 일시에 높은 온도까지 가열시킬 수 있어서 세라믹 소재의 미세 결정화가 가능함.
- 스테이지의 크기는 4인치
- 최저 도달 압력은 5*10-3 torr
- 사용가스는 알곤, 질소, 산소가 가능
- 승온 속도는 최대 50도(섭씨)/초
- 최고 사용온도는 900도(섭씨)임.