Carl Zeiss Jena(독)
AXIOPLAN-2 imaging
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2002-08-09
92,034,230원
직접사용
고정형
시간별
38,348원
샘플표면 관찰에 있어 고배율을 이용한 패턴 관찰장비로, 피씨, 5배, 10배, 20배의 대물렌즈로 구성되어있고,
초점 및 대물렌즈 로테이션은 세미오토로 가능함. 샘플의 모니터를 캡쳐할수 있음
구성
배 율 : 50배 ~ 1000배
편 광 / 밝 기 / 투 과 조절 가능
광 원 : 12V, 100W 할로겐램프
;Heating Stage
;PC 이미지 캡쳐/저장 가능
;대안렌즈 : 10x
대물렌즈 : 5X, 10X, 20X, 50X, 100X
대물렌즈 부착 수 : ~ 6개
전 원 : 1Φ 220V, 10A
활용분야
Photo 공정 중의 wafer의 PR 패턴 관찰