Zygo사
Newview 5000 System
11년
주장비
계측
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2002-06-05
297,913,340원
기관의뢰
고정형
시간별
100,000원
◦측정기법 : 백색광 주사에 의한 간섭계 방식
◦측정능력 : 3차원 표면 형상 측정
◦대물렌즈 : 배율(Objectives) : 2.5×, 10×, 50×, 100×
◦시계측정 : From 0.06 to 5.64mm
◦Image Zooming : (0.4x, 0.5x, 0.8x 1x, 1.3x, 2x)
◦분해능
- Lateral Resolution : 0.67 to 4.72um
- 수직 분해능 : 0.1nm
◦광원 : Tungsten Halogen Source, 백색광원
◦스직스캔 범위 : 150㎛
◦스캔 속도 : Up to 2.4 um/sec
◦자동 스테이지
- Tip/Tilt: ±4°
- Stage Rotation: ±360
- X/Y Translation: ±3inch
- Auto Stitching 기능을 이용한 대면적 미세형상 자동측정
- 모든 대물렌즈에서 0.1nm Vertical Resolution
- 96um/s의 고속측정으로 안정적인 데이터 확보
- 새로운 측정기술인 SureScan™ FDA™기술 적용
- All-New Mx™ Software 탑재
- ISO 25178 Surface Measurement Parameter