LOTIS
Gatan Image Filtering 2000
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2002-09-24
150,000,000원
고정형
원
전자현미경에서의 광원은 높은 진공 상태(1x10-4 이상)에서 고속으로 가속되는 전자선이다. 전자선이 표본을 투과하여 일련의 전기자기장 electromagnetic field 또는 정전기장 electrostatic field을 거쳐 형광판이나 사진필름에 초점을 맞추어 투사된다. 이 전자의 파장은 가속전압에 따라 다르며 흔히 사용되는 전압(100KV)에서의 전자파장은 4nm이다. 광학렌즈 대신 사용되는 자기장 magnetic field은 불완전하며 개구수 numerical aperture가 없다. 따라서 전자현미경의 이론적 분해능(해상력)은 약 0.001nm이나 생물학적 표본에서 사용되는 분해능은 약 0.2nm(side entry), 0.14nm(top entry)이다. 특징 - MSC(Multi Scan System) · TEM Image를 x20배 확대시켜주는 역할 - EELS System · 미소한 에너지 성분분석(Light element) - Image mapping system ·각 성분별 에너지를 Mapping하는 system - 분해능(해상력)은 약 0.001nm - 생물학적 표본분해능 · 0.2nm(side entry) 활용분야 분석
Digital Image System For Tem