클라이오텍
AMS-43T
주장비
생산
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2002-09-12
65,000,000원
고정형
원
진공 챔버내에서 RF전원을 이용하여 플라즈마를 발생시켜 기판상에 원하는 금속 및 산화물 박막을 증착시킬수 있는 장비로서 PLC/PC에 의해서 자동화가 이루어졌고 3개의 서로 다른 시편의 박막을 올릴수 있다.
* 주요구성 및 성능
- Chamber
- Sputtering Source
- Rotary Vacuum Pump
- Vacuum Pump Line