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셀트론
SHF-150
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2002-02-18
121,500,000원
직접사용
고정형
건별
300,000원
웨이퍼 산화막 형성
저/고온의 열처리 공정 및 가스를 주입하여 산화막 형성 공정이 가능한 장비이다. HCI를 이용한 클린 산화막, 건식/습식 산화막 제조가 가능하며, 저온 공정 시 수소처리를 겸할 수 있다.