셀트론
SHF-150
11년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-07-28
294,581,000원
고정형
기타
3,295,000원
Temp rate
:800~1,100℃
Flatzone
: 300mm±1℃
Heater material
: Kanthal A1
Temp control
: PID control
Gas control
: MFC control
Temp rate
:800~1,100℃
Flatzone
: 300mm±1℃
Heater material
: Kanthal A1
Temp control
: PID control
Gas control
: MFC control