Gatan
Precision Ion Polishing System
11년
부대장비(부가장치) (주장비:고분해능 투과전자현미경)
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2001-10-09
70,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
300,000원
Ion source
Ion Guns Two Penning ion guns with miniature rare earth magnets
Milling Angle +10? to -10?, Each gun independently adjustable
Ion Beam Energy NEW - 100eV to 6.0KeV
Beam diameter 350?m FWHM at 5keV - 800 ?m FWHM at 5KeV for Broad Beam guns
Ion Current Density 10mA/cm2 Peak
Beam alignment Precision beam alignment using fluorescent screen
Beam diameter Adjustable using gas control
Specimen Stage
Sample Size 3mm or 2.3mm
Mounting Gatan patented DuoPost? (Standard) or Graphite Holder (Optional)
Rotation Variable from 1 to 6rpm
Beam Modulation Single or double sector for exceptional cross-sectioning
Viewing Binocular microscope 40X or 80X.
CCD imaging with 17“ LCD monitor 300x - 2200x (optional)
Vacuum
Dry Pumping System Two stage diaphragm pump backing a 70 l/sec turbo drag pump
Pressure 5E-6Torr base pressure, 8E-5Torr operating pressure
Vacuum gauge Cold cathode type for main chamber. Solid-state for backing pump.
Specimen airlock Gatan Whisperlok?, specimen exchange time
<30 seconds
Dimensions and Utilities
Overall size
560mmW x 480mmD x 430mmH (22“W x 19“D x 17“H)
Shipping weight
45kg (100lbs)
Power Consumption
200 Watts during operation, 100 Watts with guns off
Power Requirements
Universal 100VAC - 240VAC, 50/60hz (User to specify voltage and frequency)
Gas
Argon gas at 25psi (1.42 bar)
“특징
TEM Accelerating Voltage : 400kV Magnification : X 60~2,000,000 Point Resolution : 0.15nm Minimum spot size : 0.7nm EDS Resolution : 136eV at Mn Ka Detectable Element : 5B to 92U
TEM으로 약기. 평광한 전자선을 사용하여 시료를 투과시킨 전자선을 전자렌즈로 확대하여 관찰하는 전자현미경. 직접배율의 범위가 통상은100배에서 100만배가량의 상을 형광판 상에 투영하여 관찰해 초미입자의 전자현미경용 필름에 기록한다. 전자선이 시료를 투과할 때에 생기는 산란대조와 위상대조에 따라 상의 대조를 얻어낼 수 있다. 초박절편법에서는 시료의 단편상(두께가 있는 3차원의 절편을 평면상)에투영한 상을 관찰한다. 동결레프리타법은 막구조의 분석에 적합하다. 바이러스 등의 외형이나 미세한 표면구조를 조사하는방법으로서 음성염색법이 있다. 저각도투영법을 사용하면 정제한 핵산이나 단백질 등의 분포는 면역전자현미경법으로 분석한다. 또 회절상에 의한 결정구조의 분석에서도 가능하다.초고압전자현미경에서 1μm 가량의 두꺼운 절편의 입체쌍사진을 촬영하는 것으로서 시료를 입체적으로 사용할 수 있다.
활용분야
짧은 파장의 전자선으로 시편을 투과시켜 시료의 내부구조 및 결함등을 관찰
“