동경정밀
1400D-12
3년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2001-05-03
37,604,609원
이동형
시간별
20,000원
물질의 표면조도 및 패턴의 두께 측정 등이 가능함
구성 : 1) Main unit 2) Optional accessories 3) Computer & PrinterMain Unit - Computer를 이용한 데이터 수집, 분석 및 장비제어 가능 - 측정범위 : X-axis(horizontal) 100mm 이상 가능 Z-axis(vertical) 최대 600um 이상, 최소 8um이하 가능 - 직진도 : 0.2um/100mm - 측정배율 : Vertical 100~500000배 (min. 50), 임의, 자동가능 Horizontal 1~10000배(max. 20000), 임의, 자동가능 - 측정속도 : 최소 0.03mm/sec 이하, 최대 2mm/sec 이상 가능 7 step 이상 가능하거나 연속식 - Detector : Diamond, 90도 conical stylus, tip radius 5um 이하 - 분석항목 : 40가지 parameter 이상