A-Tech
특주
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2001-10-08
100,000,000원
직접사용
고정형
건별
100,000원
금속 박막 형성
Au, Pt, Al, Cu, Cr, Ni, Ta 금속계 소재 박막을 증착분위기, 증착속도, 증착온도등의 변수에 따라 증착하는 다용도 박막증착 장비이다. 또한 3종류의 target을 동시에 사용할 수 있어 복잡한 alloy(합금)을 제조할 수 있으며, target을 순차적으로 증착하는 층 (tailored)구조의 코팅이 가능하다.