A-Tech
특주
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2000-10-04
173,800,000원
직접사용
고정형
건별
100,000원
금속 비금속 박막형성
금속계, 비금속계 소재 박막을 증착분위기, 증착속도, 증착온도등의 변수에 따라 증착하는 다용도 박막증착 장비이다. 또한, 3종류의 target을 동시에 사용할 수 있어 복잡한 합금을 제조할 수 있으며, 다층 구조의 코팅이 가능하다.