Karlsuss
MA6
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2000-09-21
297,524,000원
직접사용
고정형
건별
50,000원
리소공정 노광작업
미세 패턴형성을 위한 정밀 정렬장비로 TSP(Top Side Align), BSP(Bottom Side Align)이 가능하다. 주파수는 g, I line의 Uv를 사용하며 마스크는 contact 및 proximity type exposure가 가능하다.