㈜위너테크놀로지
모델명없음
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열처리장치
2011-02-15
94,000,000원
제우스
① 본체
- Inside Dimension : 100×100×150(WHD)mm
- Process line pass line 높이 : 1600mm
- Transfer line pass line 높이 : 1100mm
- 제어방식 : PID Program Controller
- 상.하류 인터페이스 : 단동장비
- 반송방식 : 수평방식
- 정전기 사양 : 220V 60Hz
- Max Temp : 2000℃
② Heater
- Graphite : 10t×100×150 mm
- Power : 220V 2P 60Hz
- Max Temp : 2000℃
- OP Temp : 1800℃
③ Insulation
- High Qualite Graphite Hard Board
- High Temp Graphite Fibe
④ Chamber : SUS304 Dual Jacket
- 냉각수 INOUT Line
- Vacuum Line
- GAS INJOUT Line
⑤ Temp Sensor : C-Type Thermocouple
Max temp : 2320℃
⑥ Vacuum : 5×10�orr
- Vacuum V/V
- Vacuum Gauge (Digital)
- Vacuum Pump : 600ℓ/min
- Vacuum Sensor
⑦ GAS : N₂or Ar
- Gas Flow Control : MFC Control
- Gas Capacity : 20ℓ/min
- Solenoid V/V Control
- GAS OUT V/V
⑧ Controller : Program PID Control/10 Zone
- PLC Program SCR Unit Control 과열차단장치
⑨ Frame: AL Profile
⑩ Case: SS41C 분체도장
- 전자세라믹스 기판 소재의 가공 장비
- 비산화물계의 다양한 전자세라믹스 소재의 진공 및 가스 분위기 열처리를 통한 고품질 세라믹스 제조 가능하다.
- 지역 업체의 신소재 및 고품질 세라믹스 제품의 연구 및 개발을 지원하기 위한 장비이다.
기관의뢰
고정형
일별
50,000원
비산화물세라믹스소성로는 비산화물계의 다양한 전자세라믹스 소재의 진공 및 가스 분위기 열처리를 통한 고품질 세라믹스 제조가 가능한 장비입니다. 지역 업체의 신소재 및 고품질 세라믹스 제품의 연구 및 개발을 지원합니다.
① 본체
- Inside Dimension : 100×100×150(WHD)mm
- Process line pass line 높이 : 1600mm
- Transfer line pass line 높이 : 1100mm
- 제어방식 : PID Program Controller
- 상.하류 인터페이스 : 단동장비
- 반송방식 : 수평방식
- 정전기 사양 : 220V 60Hz
- Max Temp : 2000℃
② Heater
- Graphite : 10t×100×150 mm
- Power : 220V 2P 60Hz
- Max Temp : 2000℃
- O,P Temp : 1800℃
③ Insulation
- High Qualite Graphite Hard Board
- High Temp Graphite Fibe
④ Chamber : SUS304 Dual Jacket
- 냉각수 IN,OUT Line
- Vacuum Line
- GAS INJ,OUT Line
⑤ Temp Sensor : C-Type Thermocouple
Max temp : 2320℃
⑥ Vacuum : 5×10¯orr
- Vacuum V/V
- Vacuum Gauge (Digital)
- Vacuum Pump : 600ℓ/min
- Vacuum Sensor
⑦ GAS : N₂or Ar
- Gas Flow Control : MFC Control
- Gas Capacity : 20ℓ/min
- Solenoid V/V Control
- GAS OUT V/V
⑧ Controller : Program PID Control/10 Zone
- PLC Program, SCR Unit Control, 과열차단장치
⑨ Frame: AL Profile
⑩ Case: SS41C 분체도장