이노시엠
모델명 없음
4년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2011-08-05
335,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
94,760원
펀칭과 인쇄가 완료된 그린시트를 각 층간 ±12㎛ Align 정밀도로 적층하는 장비
Sheet size : 270mm
기종별 작업조건 관리 (50기종)
위치결정용 Mark : Punching hole 또는 Print mark
Auto Peeling : 270mm 자동 Film 제거 장치.
Peeling Capability : 12um~500um
Align stage unit : x/y/ Servo motor, vacuum table Up/Down Servo unit, Sheet Transfer servo
Vision unit (Keyence CV-3001) : W.D 200mm, F.P.V 4mm, 256품종 입력관리 및 자동 품종전환
위치결정 정밀도 : 2um이내
Sheet transfer & Press head 80um fine hole가공(Head swing 기능있음), X axis Transfer unit, Transfer head & Heating unit, Vacuum helder 및 Vacuum plate
Press frame(고강도 정밀구조)
Press Table & Heating unit
유압장치 (2~50ton)
Sheet size : 270mm
기종별 작업조건 관리 (50기종)
위치결정용 Mark : Punching hole 또는 Print mark
Auto Peeling : 270mm 자동 Film 제거 장치.
Peeling Capability : 12um~500um
Align stage unit : x/y/ Servo motor, vacuum table Up/Down Servo unit, Sheet Transfer servo
Vision unit (Keyence CV-3001) : W.D 200mm, F.P.V 4mm, 256품종 입력관리 및 자동 품종전환
위치결정 정밀도 : 2um이내
Sheet transfer & Press head 80um fine hole가공(Head swing 기능있음), X axis Transfer unit, Transfer head & Heating unit, Vacuum helder 및 Vacuum plate
Press frame(고강도 정밀구조)
Press Table & Heating unit
유압장치 (2~50ton)