① 주시스템

전기로 본체
- sus chamber (직경 400mm 높이 600mm), 이중수냉챔버
- 흑연발열체, 흑연 단열재, Cu 전극봉
- 발열체 내부 용적 : 100W x 60H x 100 mm
- 승온속도 : 분당 50~100도
- 최고온도 : 2000도
온도측정
- two color pyrometer (상온-2000도)
Control 패널
- PID온도 제어
UTM과 인터페이스
- 가스밀봉 가스킷 구조
- UTM 본체와 접합 및 내부 지그 연결부 관통가능
Extensometer설치를 위한 interface
- radiation shield 장착
- extensometer interface

② 보조시스템
타장비와 chiller 공유 냉각라인밸브
진공시스템
- 최고 진공 50 mTorr
가대 및 가스 라인
- Ar 가스, 플로메터