2011년 한국세라믹기술원 출연 원예산 구매장비입니다. - 장비용도 (특성) Si Wafer, Glass, PET Film등의 물질위에 코팅된 다양한 물질들 (예, SiO2, Al2O3, Si3N4, Alq3, ZnO, GaN, TiO2, Poly-Si)등의 두께(d), 굴절률(n), 흡수계수(k)를 파장과 대응하여 측정 분석할 수 있으며, 두께정밀도는 반복정도 기준으로 +/-0.3Aomstron(시료종류에 따라 다름)을 구현한다. 12"9300mm) Size의 Wafer를 자동으로 미리 계획한 측정횟수와 포인트를 순서대로 측정이 가능하며, 반복 측정이 가능하다. 측정 결과는 일반적인 실험 리포트화일(*.rpt)로도 저장가능하며, 반복측정된 Data는 *.txt, *.CVS형태로 저장이 가능하다. 응용분야는 Semiconductor, Display, Dielectrics, Polymer, Chemistry, Solarcell분야로 거의 모든 박막의 분석에 대응가능하다.