아이이에스
IR2P-G2
4년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2011-01-18
159,995,000원
고정형
시간별
999,999원
Roll to plate printing이 가능한 실험장비로써 일정 pattern이 다지인된 제판에서 paste/ink를 전사하여 polymer film 또는 다양한 기판에 구현이 가능.
* Roller 파트
상부롤러
하부롤러 -회전구동부/상하구동부 및 안내부
롤러압력 측정부(로드셀 및 기구부)
* Align Vision시스템
- 광학계 : 2um 화소분해능
- 3set, 카메라, 렌즈, 조명 및 조명제어기
- 카메라 위치조정용 Stage(X,Y,Z 3자유도 조정용)
* 3축 Align Stage
- 동일평면 3축 Align stage
- Align 정밀도(기계자체) : 3um
- Motorized / 진공흡착기능
* Main Base 구동부
- 리니어서보머터
-제판고정부 / Align stage 고정부
* Base Plate
* 롤러부 고정Plate
* Docotring 부
- 플레이트제판 Docotoring부
- 롤 제판 Doctoring부
+ 하부 프레임
-AL Profile / 하부 커버류(PC)
* 시스템 전장 및 제어부
- PC 및 부속장치
-Motion Controller : 10축
-DIO보드 : IO 32/32
* 시스템 통합제어 및 운전 Software
* 리버스옵셋 기능