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- i-Tube No. 1110-C-0211
- NTIS No NFEC-2011-12-151994
-
설치기관
공동기기원
(한국공학대학교 산학협력단)
- 주소 경기 시흥시 정왕1동 한국산업기술대학교 경기 시흥시 정왕1동 한국산업기술대학교 산업협력단
- 담당자 유미선 (T. 02-986-1202 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
TOKYO KAKOKI CO.,LTD.
-
모델 명
N23009
내용연수4년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
-
취득일
2011-10-12
취득금액715,775,155원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료30,000원
장비설명
현상후 필요없는 동박 부분을 부식한 후 경화된 필름을 제거하여 미세회로 구현하는 장비
(경화된 D/F을 제외한 나머지 동노출된 부분을 에칭액으로 부식시키고 회로형성되면 경화된 필름을 없애는 장비)
장비 구성 및 성능
* 처리기판크기 : Min.200(L) X 200(W)(mm)
Max610(L) X 510(W)(mm)
* 처리기판두께 : 0.04~3.2mm
* 처리기판속도 : 0~5.0m/min
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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