Ar 압축비 > 1 · 108
Ar펌핑스피드 2000 l/s
H2 압축비 > 2 · 103
H2에 대한 기체 처리량 > 67,6 hPa l/s | > 50,7 Torr l/s | > 67,6 mbar l/s
H2의 경우 최대 회전 속도에서의 기체 처리량, 75°C로 가열된 펌프 > 16,9 hPa l/s | > 12,68 Torr l/s | > 16,9 mbar l/s
H2 펌핑스피드 1100 l/s
He 압축비 > 3 · 104
He 펌핑스피드 1800 l/s
N2 압축비 > 1 · 108
N2에 대한 기체 처리량 67,6 hPa l/s | 50,7 Torr l/s | 67,6 mbar l/s
N2의 경우 최대 회전 속도에서의 기체 처리량, 75°C로 가열된 펌프 16,9 hPa l/s | 12,68 Torr l/s | 16,9 mbar l/s
N2 최대 1차 진공 2,8 hPa | 2,1 Torr | 2,8 mbar
N2 펌핑스피드 2150 l/s
개별 전기구동장치 예
냉각 방식 물
냉각수 소비량 1 l/m
냉각수 온도 15-25 °C
동작 전압 100-120/200-240 V AC, 50/60 Hz 0
런타임 < 8 min
베어링 자기 부상식
부식성 기체 버전 예
아르곤에 대한 기체 처리량 25,4 hPa l/s | 19,05 Torr l/s | 25,4 mbar l/s
아르곤의 경우 최대 회전 속도에서의 기체 처리량, 75°C로 가열된 펌프 8,5 hPa l/s | 6,38 Torr l/s | 8,5 mbar l/s
연결 플랜지(입력) DN 250 CF-F
연결 플랜지(출력) DN 40 ISO-KF
인터페이스 외부 구동 전자 장치 경유
입자 유입 예
장착 방향 모든 위치
전기구동장치 외부 드라이브 전자장치
중량 60 kg | 132,28 lb
최대 냉각수 온도 40 °C | 104 °F | 313 K
최종 압력 < 6 · 10-9 hPa | < 4,5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar
최종 압력에서의 입력 전력 350 W
헬륨에 대한 기체 처리량 > 67,6 hPa l/s | > 50,7 Torr l/s | > 67,6 mbar l/s
회전 속도 ± 2 % 31.000 rpm | 31.000 min-1