파크시스템스
XE-100
10년
주장비
분석
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2009-12-01
169,644,000원
고정형
건별
87,000원
나노크기의 탐침이 시료 표면을 근접할 때 시료와 탐침사이에 상호작용하는 물리량을 측정
*수평(XY) 측정영역 : 최대 50 um x 50 um*수직(Z) 측정 영역 : 최대 12 um *LFM, EFM, FMM, Conductive AFM, Nano indentation, lithography, Electro chem. Analysis