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- DC/RF Magnetron Sputter
- 직류/고주파 마그네트론 스퍼터
- i-Tube No. 0909-Z-0190
- NTIS No NFEC-2010-06-080155
- 설치기관 (재)전북테크노파크
- 주소 전북 완주군 봉동읍 둔산리 857-27번지
- 담당자 유현진 (T. 063-714-3399 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
알파플러스㈜
-
모델 명
Magnetron Sputtering System
내용연수10년
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구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2009-09-09
취득금액135,573,600원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
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사용료 형태
건별
장비 사용료74,000원
장비설명
플라즈마 상태의 높은 에너지를 가진 이온입자를 증착하고자하는 물질과 충돌시킴으로써 시료의 표면에 박막을 형성
장비 구성 및 성능
*Sputter source: 4inch 3ea*Power supply: RF:600W(2EA)/DC:2KW(1EA)*Substrate heating temp. : ~800℃*Source gas : Ar, O2, N2*Thickness uniformity: ≤ ± 3%
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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