맞춤추천
공동활용장비
- 장비찾기
- 공동활용장비
- Plasma surface treatment system
- 플라즈마 표면 처리장비
- i-Tube No. 1206-C-0004
- NTIS No NFEC-2013-01-174594
-
설치기관
스마트융합기술센터
((재)전북테크노파크)
- 주소 전라북도 익산시 함열읍 익산대로78길 13-6,(다송리)
- 담당자 권영만 (T. 063-720-3711 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
PVA Tepla
-
모델 명
PVA Tepla 690
내용연수9년
-
구분
부대장비(부가장치) (주장비:Graded 다층박막 이온빔 증착장비)
용도분석
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2012-06-12
취득금액116,124,800원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료12,000원
장비설명
Surface Treatment를 위한 RF Plasma 발생, O₂ RF 플라즈마를 이용한 표면 세정, Ar/H RF 플라즈마를 이용한 표면처리 및 접합력 증대 장비
장비 구성 및 성능
-Chamber size : 500(H) x 500(W) x 500(D) -Operating size : 310mm x 260mm, 260mm x 180mm, 180mm x 90mm -Object thickness : 0.5mm ~30mm -Operating Gas : O₂ or Ar/H2
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
Copyrightⓒ 2020 KIAT All rights reserved.
