1. 패턴검사시스템은 전극 패턴의 open/short 및 감도평가, 분해능 등의 전기적 특성검사를 하기위한 장치이다.2. 검사방법은 패널의 전극을 직접 접촉하여 각 전극에 연결된 패널 용량을 측정하는 것으로, LC공진주파수변이 차 측정법으로 정밀하게 측정함으로서 모든 패턴에 공통 적용된다.3. 검사 기준은 양호한 패널의 용량값을 측정하여 d-Base로 저장하고, 이 값을 기준으로 Error Range를 설정하는 시스템이다. 검사의 표준관리가 가능하도록 패널의 모든 채널의 값이 저장 및 display되며 주파수, 전기적 용량 등 표준 물리량을 측정, 저장한다.