<특징> - 촉매 및 수소 분리막 물질을 고진공내에서 물리적으로 진공 증착시키는 장비 - 플라즈마 전원장치로 직류 및 교류로 개별 또는 동시에 증착 가능 함 - 고온 증착으로 열처리 공정 생략 가능 함 - 금속 및 비금속 물질의 박막 증착 가능 함 <구성> 1. 공정챔버 : 1 세트 2. 로드락챔버와 시편이송장치 : 1 세트 3. 진공펌핑장치 : 1 세트 4. 시편 가열과 회전 장치 : 1 세트 5. 진공측정계 : 1 세트 6. 원통형 마그네트론 스퍼터링 소스 : 4 세트 7. 가스공급장치 : 1 세트 8. 자동공정압력제어장치 : 1 세트 9. 라디오주파수 전원장치 : 3 세트 10. 직류전원장치 : 1 세트 11. 시편 표면개질 장치 : 1 세트 12. 프레임과 운용제어장치 : 1 세트