활용내용 : DPSS 레이저용 광학부품의 표면조도 향상 초연마 가공

○ 도입 필요성 :
- 고출력 레이저의 고밀도로 집적된 광에 의해 광학부품 표면이 손상되고, 이는 레이저 출력 성능의 한계치를 제한하는 주요 요인임
- 광학부품의 가공 결과로 표면거칠기가 커짐에 따라 레이저 손상을 유발하는 요인들(foreign particle)이 구속․잠재될 확률이 증가함
- 또한 최근 산업용 레이저가 단파장화되고 고정밀화됨에 따라 산란(scattering) 손실 최소화를 위한 표면거칠기 향상이 주요 이슈임
- 본 검토장비는 액체유동 방식으로써 ~1Å 수준의 표면조도를 구현하기 위한 필수적 장비임 (통상적인 가공공정 ~15Å 수준)


○ Bowl-feed Polisher 가공 원리
- 기본 원리는 정반과 패드를 사용하는 일반 압력마찰 방식과 같으나, 일반 방식은 연마제(slurry) 크기의 분포범위(편차)가 커서 가공 중에 스크래치/디그 등을 유발하여 표면조도 구현에 한계가 있음
- 반면 본 장비는 ‘물+세리아(산화세륨)’의 액상 용액 상태에서 가공하다가 교반기를 이용하여 극미세 크기의 연마제만을 분리하여 최종 가공함으로써 표면조도가 매우 높은 슈퍼폴리싱 표면을 얻을 수 있음


과제명 : 광기반융합기술인프라구축사업

과제책임자: 김왕기

과제시작년도 : 2009