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- i-Tube No. 1112-C-0166
- NTIS No NFEC-2012-02-153916
- 설치기관 한국기계연구원
- 주소 대전광역시 유성구 가정북로 156 (장동, 한국기계연구원)
- 담당자 최준혁 (T. 042-868-7817 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
펨토사이언스
-
모델 명
WIDE FLUX
내용연수9년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
-
취득일
2011-12-23
취득금액57,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료120,000원
장비설명
플라즈마 또는 UV 조사 방법으로 레진 또는 기판 특성에 따라 취사선택할 수 있는 기능이 있다. 또한, 스캔에어블로링 기능을 포함하고 있어 먼지 등의 이물질이 표면처리 과정에 앞서 물리적으로 제거할 수 있는 특징이 있다.
장비 구성 및 성능
진공이 아닌 대기압에서 기판 표면을 친수처리할 수 있는 장비 기판 크기는 가로 370nm를 넘지 않아야 하면 디스플레이 2G 기판 전용으로 설계되었음====================
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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