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- i-Tube No. 1104-C-0092
- NTIS No NFEC-2011-05-145571
- 설치기관 한양대학교산학협력단
- 주소 서울특별시 성동구 왕십리로 222,한양대학교내 한양종합기술연구원 110호(행당동)
- 담당자 백운규 (T. 02-2220-0502 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
㈜싸이엔텍
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모델 명
EVPVD
내용연수11년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2011-04-28
취득금액60,500,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
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사용료 형태
기타
장비 사용료원
장비설명
Sputtering을 통해 원하는 Source 물질을 기판에 증착하는 장비
장비 구성 및 성능
Rotary pump, Process chamber, Turbo molecular pump 등으로 구성 되어있으며 RF를 이용하여 Sputtering하여 박막을 증착하는 장비. Substrate heater 장착되어 있음.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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