진공조 1200x1300Hm고진공펌프 13000진공게이지 990~2x10Torr
챔버 사이즈 : Φ500 ~ 2500 mm
펌프 : Rotary 펌프, Booster 펌프, Diffusion 펌프
증발원 : E-beam Source(6 ~ 12 Pocket)
두께 제어 : Quartz Crystal Control
특징으로는 우수한 박막 균일도가 생성되며
고진공 (under 10-7 torr), 안정된 온도 및 증발량 제어할 수 있으며, 자동 및 수동 제어가 가능하여 장비 오류에 따른 설정갑 복원이 용이하다.