에이스진공
AVSF-202020-23H
8년
주장비
기타
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 오븐
2011-10-07
45,980,000원
고정형
원
본 장비는 독립적으로 운용이 가능한 장비가 아닌 chamber 내부에 초고순도graphite 도가니 및 graphite pipe system(AV-HPS-SiC)이 장착되어야 운용이 가능한 장비이다. 장비의 제작 목적인 초고순도 SiC 분말 합성을 위하여 설계(냉각 설계, 흡기 설계, 배기 설계, 발열체 구조 등)가 해당과제에 적합하도록 자체 설계하여 제작된 장비 이다.
장비 설계는 본 연구의 특징적인 요소를 다수 포함하고 있어 장비의 외부 공개 및 공동 활용을 통하여 본 과제의 핵심 내용을 추론 할 수 있다. 또한 본 장비는 초고순도 (>6N)의 SiC 합성을 위하여 특화된 장비로서 본 연구팀이 개발하는 물질인 SiC 이외의 물질 또한 본 연구팀에서 사용하고 있는 출발 물질과 다른 물질을 사용하게 되면 chamber에 불순물이 함유되게 되고 이러한 불순물들이 장비의 사용온도인 2000 ℃ 이상에서 본 연구의 목적인 SiC 합성에 불순물로 contamination 되어 연구 목적달성이 불가능해진다.