(1) 스퍼터 모듈 : Mo 스퍼터 (하향 증착방식)- 프로세스 챔버 : Sus304 Low 10-6torr Upper door type : 1 셔터가 달린 뷰포트 : 1 Backside pumping port : 1 3개의 타겟을 마운팅 포트를 위한 Top flanget : 1 챔버 핸들링을 위한 Loading flange : 1 가스 inlet 벤트 게이지 포트 : 1set Inside bottom shielder port : 1 ATM 센서 포트 : 1- 기판 홀더 & 회전 모듈 기판 홀더 : 1 ea 샘플 로딩을 위한 Lift pin 모듈 : Bellows & 실린터 1set 셔터 조립부 : 1sets 히팅 모듈 : 1set : SiC 코팅된 그라파이트 히터 : Power feed-through 회전 모듈 : 1set : Forrofludic 회전 모션 feed-through & 기판회전을 위한 스테핑 모터(~60rmp 최대) : RPM 미터 Home position searching : 기판 회전을 위한 베어링 Z-motion : 스테핑 모터 스토로크 100mm 기판 셔터- 가스 공급부 케이블이 연결된 MFC : Ar 50sccm(Tylan) 1 가스 밸브 & 라인 : 1set : Pneumatic 밸브 1/4" : 수동식 diaphragm 밸브 1/4" 가스 정글 박스 : Gas line Bracket & pannel 벤트용 1/4" VCR pneumatic 밸브 - 스퍼터 캐소드 건 RF & DC 호환 설계 Water cooling Nd-Fe-B 자석 4" 타겟 타입 가스 공급 (shielder side가 아닌 chamber까지) : 1/4" line 확장 Tee 1/4" bellows Magnetic shielder b.t. sputter gun 스퍼터 건 셔터 - 진공 게이지 Full range 게이지 Convectron 게이지 Capacitance manometer : 0.1torr(MKS) - 메인 챔버용 펌핑 모듈 TMP : 1000L/sec Shimatzu RP : 600L/min Woosung Throttle valve & controller : 자동 고진공 밸브 Block valve(FV RV) : NW40 2 - 파워 서플라이 케이블이 있는 DC power supply : 1000V 1A(2) 스퍼터 모듈 -CIS계 스퍼터 (하향식 증착) - Process chamber : Sus304 Low 10-6torr Upper door type : 1 셔터가 달린 뷰포트 : 1 Backside pumping port : 1 3개의 타겟을 마운팅 포