이엠티
주문제작
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2011-02-24
66,000,000원
직접사용
고정형
시간별
27,500원
기판 표면의 이물질을 제거하기 위한 습식 세정장치로 매뉴얼 세미오토 오토로 장비 동작이 가능함
인라인 방식으로 다량의 웨이퍼 세정에 공정을 할수 있음. 아세톤, 메탄올, 이소프로필 알콜사용
Substrate size150 x 150 x 0.4~1.1tPass lineFL+950mmConveyor speed500~5000mm/min설비 Dimension5000(L) X 1300(W) X 1400(H)반송계roller conveyor방식Roller형태UPE. C-PVC. PEEK
+ EPDM O-RingBody SS41 + Ivory 열처리
Painting저장탱크SUS304 쉬스히터반송방식Roller Conveyor반송 Roll Pitch50~80mm반송속도500~5000mm/min구동MotorGeared Motor with
Invertor Control반송방식Roller Conveyor반송 Roller Pitch50~80mm반송방식Roller Conveyor반송 Roller Pitch50~80mm반송속500~5000mm/minBrushNylon 612Brush Shower상부 3열/하부 3열Air CurtainAir Knife 방식