Plenum heater assembly upgrade kitPlenum heater assmblyO-ring pg outer tubeO-ring pg inner tubeO-ring spg inner coreO-ring spg outer coreO-ring central view portO-ring spg central view port neck
(1) 장비 기능 검사 결과
1. Plenum heater 성능검사
- Deep silicon etcher장비에 Plenum heater를 장착하여 test
가. 온도 컨트롤 가능 및 진공도 문제 없음(정상동작)
- 30℃ ~ 300℃ 사이 단계별 5℃씩 증가 test 결과