·측정 범위 - X 축 : 100mm, Z 축 : 600㎛
·분해능 - X 축 : 0.1㎛, Z 축 : 0.1nm
·정밀도 - ±(0.02 + 1L/1000)㎛ L = 이동 거리
·이동 속도 - X 축 : 0.05 - 10mm/s, 컬럼 : 최대 10mm/s
·측정 압력 - 4mN
·측정 배율 - X 축 : 1 ~5,000배, Z 축 : 1 ~ 500,000배
·정반 - 크기 : 1000 x 450mm, 최대 적재질량 : 120kg