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- 플라즈마 외각 측면 분리 장비
- i-Tube No. 1112-C-0292
- NTIS No NFEC-2012-01-153176
- 설치기관 재단법인 녹색에너지연구원
- 주소 전남 목포시 석현동 1175-4 서남권청정에너지기술연구원
- 담당자 권준영 (T. 061-288-1012 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
울텍
-
모델 명
PLASMA ETCHER
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
-
취득일
2011-12-31
취득금액90,025,550원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료300,000원
장비설명
확산공정 후 웨이퍼 표면이 N층으로 연결되어 있으므로 이를 분리시키기 위한 장비
장비 구성 및 성능
시간당 300장 이상 결정질 태양전지 외곽 측면분리 가능/ N층 형성을 위한 확산공정 후 P층과 N층의 접합부분을 plasma를 이용하여 식각처리/ R&D 분야와 준양산이 가능한 자체제작 장비
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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