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- i-Tube No. 1103-C-0250
- NTIS No NFEC-2012-01-153414
- 설치기관 재단법인 녹색에너지연구원
- 주소 전남 목포시 석현동 1175-4 서남권청정에너지기술연구원
- 담당자 이석호 (T. 061-288-1010 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
유시스텍
-
모델 명
개발장비
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
-
취득일
2011-03-25
취득금액144,396,800원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료300,000원
장비설명
박막태양전지 요소기술의 하나인 투명전도성 산화막 등의 미래 사업아이템 연구개발용 장비
장비 구성 및 성능
동시 사용이 가능한 RF 1kW 및 DC 3kW 하이파워건이 4기 장착되어 있으며 4인치 기판에 균일도 +-5%이하의 박막 증착이 가능/ 증착가능물질 ITO, ZnO, BZO, xZO, Cu, Al 등
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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