<특징>
○ Point 가공방식으로 정밀한 형상보정
- Fused silica의 형상보정 성능 : λ/40, rms<3Å
- 단파장(266/355/532nm) 대역 산업용레이저 및 정밀 광학기기용 광학부품 표면형상 가공에 유리
- 대상 부품 : Lens, Mirror, EUV optics, Phase plate, Penta prism, Low scattered optics, Correction optics
○ 레이저 출사광의 파면(wave front) 보정 기능
- 가공영역 선택 기능을 적용하여 파면 보정, 레이저 모듈의 beam quality 향상
- 대상 부품 : 레이저 발진 크리스탈, 미러, 포커싱 렌즈, 편광자, 빔분할기 등
○ 컴퓨터 제어식 정량적 가공 수행
○ 통상적인 정반ㆍ패드 압력식과는 다른 자기유동 방식으로 Stress free optics 구현
- 부품 및 레이저 모듈의 신뢰성 향상
- 우주ㆍ항공ㆍ방산용 광 전달(delivery) 부품 가공에 유리
<주요 사양>
○ 가공 대상면 : Flat, Sphere or Asphere elements (비구면 경우 실시간 형상 측정데이터 필요)
○ 가공 대상재료 : BK7, Fused silica, Si, Zerodur, Nd:YAG, Sapphire, UV optics 등
○ Work piece 크기 : 최대 200mm (원형)
○ Concave radius : 최소 35mm
○ Work piece 하중 : 최대 4.5kg
○ 가공 축 : 4축(X/Y/A/B)