○ 개요
- 고출력 레이저 광학부품의 박막 조밀도(packing density) 증대 및 광학상수(n, k) 특성 향상용
- 레이저 부품의 고온 고열 접합용
- 고출력 레이저 광학부품의 환경․신뢰성특성 향상용
○ 활용내용 : 고출력 레이저용 유전체박막의 공정 후 진공열처리
○ 기본 사양
- Vacuum dry oven system with clean process for high purity DPSS laser components
- Oilless type pumping system with ultimate pressure below 5×10-6 torr
- Configure for easy repair and maintenance
- Inner chamber dimension : φ300mm×h400mm
- 2 stages dry and turbo pumping system
- Max. operation temperature 600℃ with temp. uniformity within ±3℃
- SiC, polished sheet heater and digital recorder