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- i-Tube No. 1108-C-0206
- NTIS No NFEC-2011-08-147726
- 설치기관 강원테크노파크
- 주소 강원 강릉시 대전동 898-1 강릉과학일반산업단지 신소재지원센터
- 담당자 조형환 (T. 033-645-5414 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
다다
-
모델 명
D1108-PSD6
내용연수10년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2011-08-08
취득금액337,654,480원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
일별
장비 사용료226,000원
장비설명
본 장비는 다양한 산화물 및 전극 금속을 박막으로 제조할 수 있는 장비이다. 박막 제조법은 KrF 엑시머레이저와 라디오주파수-스퍼터법으로 독립된 챔버에서 각각의 박막성장이 가능하며, 단일 및 다층막을 제조할 수 있다.
장비 구성 및 성능
- KrF 엑시머레이저 시스템
-엑시머레이저 45도 반사경렌즈, 원도우렌즈, 집속렌즈 및 마운트
- 엑시머레이저 빔 X-Y스캔 자동 시스템
- 엑시머레이저 증착 진공챔버 및 타겟 모듈
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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