In-situ 상황에서 나노스케일의 정량적인 물성평가를 위해 필요한 합체장비이며, 나노압입시험기와 결합했을 때 정확한 위치에 실험이 가능하고, 실시간으로 소재의 변형과정의 관찰이 가능하다. 또한 나노스케일이서 거의 유일한 기계적 물성평가 정비로 적합하다. 결합되는 압입시험기는 하중은 정전기적, 변위는 전기용량으로 평가 및 측정하여 물성을 평가할 수 있다. 다양한 분양에서 나노스케일의 물성평가에 대한 수요증가로 인하여 지속적으로 사용될 것으로 예상되며, 연중 수시로 활용될 것으로 예상된다. 본 장비를 사용시에는 기자재 사용료가 부과되며 정밀특수 장비이므로 전물 기자재 담당인력이 장비를 운용하게 된다. 평가할 수 있는 기계적 특성을 소재의 탄성성질을 대변하는 탄성계수와 소재의 경함을 대변하는 경도가 있으며, 사용하는 압입자에 따라 평가할 수 있는 물성치는 달라지게 된다. 시험할 수 있는 소재는 금속 외에 세라믹, 폴리머 소재까지 시험할 수 있다.