In-situ 상황에서 나노스케일의 정량적인 물성 평가를 위한 장비임 정확한 위치에 실험 가능, 실시간으로 변형과정 관찰 가능나노스케일에서 기계적 물성 평가장비로 적합함 나노 단위의 변형을 가할 수 있는 압입시험기와 이에 따른 소재의 거동을 측정할 수 있는 FESEM 기능이 결합되어 있음 나노 및 마이크로 스케일에서의 재료물성을 압입하중 변위곡선을 산출하여 평가 최대하중 10 mN하중분해능 3 nN 이하변위분해능 0.02 nm 이하 다양한 분야에서 나노스켕일의 물성평가에 대한 수요증가로 인하여 지속적으로 활용됨폴리머 SEM 이미지 측정가능ESEM 기능압입시험 실시간 관측 평가