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- i-Tube No. 1112-Z-0052
- NTIS No NFEC-2012-03-158918
- 설치기관 한국전기연구원
- 주소 경기도 안산시 상록구 항가울로 111 (사동, 한국전기연구원)
- 담당자 차보경 (T. 031-8040-4154 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
마이다스
-
모델 명
SPIN-5000A
내용연수7년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2011-12-28
취득금액52,030,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
장비 구성 및 성능
UV(자외선)사진 식각 공정시 실리콘 Wafer 또는 유리기판 상에 미세패턴 형성을 위하여 감광액을 spin 방식으로 사용하는 감광성 도포 장치에 적용됨.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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