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- i-Tube No. 1112-Z-0048
- NTIS No
- 설치기관 한국전기연구원
- 주소 경기도 안산시 상록구 항가울로 111 (사동, 한국전기연구원)
- 담당자 차보경 (T. 031-8040-4154 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
젠시스
-
모델 명
GSSpin300-SD-01
내용연수7년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2011-12-27
취득금액47,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
장비 구성 및 성능
스핀방식으로 현상액을 도포(Spin coater)하여 Pattern을 현상 후 초순수 용액 및 N2를 이용하여 시료를 세정 및 건조하는데 적용
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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